Keithley 4200A-SCS Parametrische analysatorsysteem

Overzicht

Keithley 4200A-SCS is een uitgebreide parametrische analysatorsysteem ontworpen voor halfgeleideraparaatkarakterisering, combinerend DC I-V, capaciteits-spanning (C-V) en ultra-snelle pulsed I-V meetcapaciteiten in één platform. Het systeem integreert met geautomatiseerde waferondes en cryogene temperatuurregelers voor volledige apparaattestworkflows in onderzoeks-, betrouwbaarheids- en apparaatontwikkelingtoepassingen.

Belangrijkste kenmerken

• Gesynchroniseerde DC I-V, C-V en pulsed I-V metingen in één systeem
• 4215-CVU capaciteitsmodule met 1 V AC bron, 1 kHz tot 10 MHz frequentiebereik, resolutie in enkele femtofarads
• 4200A-CVIV Multi-Switch voor automatische kanaalschakeling zonder opnieuw bekabelen of sondeopheffing
• Modulaire SMU (source measure unit) architectuur met tot 9 kanalen voor laagstroommetingen tot femtoampères
• Clarius softwareplatform met honderden voorgebouwde toepassingstesten en real-time parameterextractie
• Veldinstalleerbare modules en optionele voorversterkers voor meetflexibiliteit
• Volledige integratie met MPI, Cascade Microtech en andere wafersondesystemen

Toepassingen

• Parameterextractie en foutanalyse van halfgeleideraparaten
• Karakterisering op wafer-niveau en verpakte apparaten
• Processontwikkeling en rendementstudies ter verbetering
• Materiaaltypering en betrouwbaarheidstesting
• Halfgeleideraparaat testen en analyse bij cryogene temperaturen